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名詞解釋

退火

答案：如果將注有離子的硅片在一定溫度下，經(jīng)過適當時間的熱處理，則硅片中的損傷就會得到大部分消除，少數(shù)載流子的壽命以及遷移率也會...

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溝道效應

答案：

離子沿溝道前進，核阻擋作用小，因而射程比非晶靶遠得多，這種現(xiàn)象叫溝道效應。

電子碰撞

答案：

注入離子與靶內的自由電子和束縛電子碰撞，產生電子空穴對。注入離子方向基本不變。

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