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名詞解釋

電子碰撞

答案：

注入離子與靶內的自由電子和束縛電子碰撞，產生電子空穴對。注入離子方向基本不變。
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核碰撞
答案：

在離子注入中，注入離子與靶原子核碰撞，將能量傳給靶核，離子發(fā)生偏轉，靶核產生位移。
名詞解釋

再分布
答案： 住擴散是將預擴散引入的雜質作為擴散源，在較高的溫度下進行擴散，擴散的同時也往往進行氧化。目的是為了控制表面濃度和擴散深度...
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