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名詞解釋

預(yù)淀積

答案：與擴散實在較低溫度下，采用恒定表面源擴散方式，在硅片表面擴散一層數(shù)量一定按余誤差函數(shù)形式分布的雜質(zhì)，由于溫度較低，且時間...

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兩步法擴散

答案：為了同時滿足對表面濃度，雜質(zhì)數(shù)量，結(jié)深以及梯度等方面的要求，實際生產(chǎn)中所采用的擴散方法往往是兩種方式的結(jié)合，也就是將擴散...

有限表面源擴散

答案：如果擴散之前在硅片表面先淀積一層雜質(zhì)，在整個擴散過程中這層雜志作為擴散的雜質(zhì)源，不再有新源補充，這種擴散方式稱為有限表面...

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