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名詞解釋

有限表面源擴散

答案：如果擴散之前在硅片表面先淀積一層雜質(zhì)，在整個擴散過程中這層雜志作為擴散的雜質(zhì)源，不再有新源補充，這種擴散方式稱為有限表面...

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濕氧氧化

答案：

氧氣中攜帶一定量的水汽，Si在其中被氧化成SiO₂的過程。

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