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填空題

直線度誤差是指（）。

答案：被測實際輪廓線相對于理想直線的變動量

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反射衍射測量法利用（）來進行衍射測量的。特點：（）、入射光可以以一定角度入射，布置方便。

答案：試件棱緣和反射鏡構(gòu)成的狹縫；靈敏度提高一倍

【簡答題】簡述激光衍射測量方法。

答案： 1、間隙測量法
2、反射衍射測量法
3、分離間隙法
4、互補測屏法
5、愛里斑測量法
6、衍射頻譜檢測法

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