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填空題

反射衍射測量法利用（）來進(jìn)行衍射測量的。特點(diǎn)：（）、入射光可以以一定角度入射，布置方便。

答案：試件棱緣和反射鏡構(gòu)成的狹縫；靈敏度提高一倍

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【簡答題】簡述激光衍射測量方法。

答案： 1、間隙測量法
2、反射衍射測量法
3、分離間隙法
4、互補(bǔ)測屏法
5、愛里斑測量法
6、衍射頻譜檢測法

單縫衍射測量儀器測量量程（）mm，對于細(xì)絲為（）mm。

答案： 0.01-0.5；0.01-0.1