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問答題

【簡答題】金屬導電層和絕緣介質(zhì)層兩部分組成什么系統(tǒng)?

答案:

多層互連系統(tǒng)

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【簡答題】干法刻蝕有哪幾種?相應的內(nèi)容是什么?

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1)物理性刻蝕-濺射刻蝕:等離子體中的離子或高能原子對襯底進行轟擊,...
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【簡答題】什么是干法刻蝕?什么是濕法刻蝕?比較二者的優(yōu)缺點。

答案: 1)干法腐蝕是應用等離子技術的腐蝕方法,刻蝕氣體在反應器中等離子化,與被刻蝕材料反應(或濺射),生成物是氣態(tài)物質(zhì),從反應...
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