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問答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述微芯片技術(shù)發(fā)展的主要趨勢(shì)

答案：提高芯片性能（速度、功耗）、提高芯片可靠性（低失效）、降低芯片成本（減小特征尺寸，增加硅片面積，制造規(guī)模）

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【簡(jiǎn)答題】什么是關(guān)鍵尺寸（CD）？

答案：芯片上的物理尺寸特征稱為特征尺寸，特別是硅片上的最小特征尺寸，也稱為關(guān)鍵尺寸或CD

干法刻蝕適用于（）（粗/細(xì)）線條。

答案：細(xì)

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