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問答題

【簡答題】什么是關(guān)鍵尺寸（CD）？

答案：芯片上的物理尺寸特征稱為特征尺寸，特別是硅片上的最小特征尺寸，也稱為關(guān)鍵尺寸或CD

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干法刻蝕適用于（）（粗/細）線條。

答案：細

單項選擇題

化學氣相淀積SiO₂與熱生長SiO₂相比較，下面哪些說法是正確的：（）。
1.熱生長SiO₂只能在Si襯底上生長；
2.CVD SiO₂可以淀積在硅襯底上，也可以淀積在金屬、陶瓷、及其它半導體材料上；
3.CVD SiO₂，襯底硅不參加反應；
4.CVD SiO₂，溫度低。

A.1、2
B.2、4
C.1、4
D.1、2、4
E.1、2、3、4

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