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問答題

【簡答題】為何在離子注入后，需要熱處理（ Thermal Anneal）的工藝？

答案：

①為恢復經(jīng)離子注入后造成的芯片表面損傷；
②使注入離子擴散至適當?shù)纳疃龋?br /> ③使注入離子移動到適當?shù)木Ц裎恢谩?/p>

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【簡答題】簡述Spacer的主要功能？

答案：

①使高濃度的源/漏極與柵極間產(chǎn)生一段LDD區(qū)域；
②作為Contact Etch時柵極的保護層。

【簡答題】何謂Spacer? Spacer蝕刻時要注意哪些地方？

答案：在柵極(Poly)的兩旁用dielectric（介電質）形成的側壁，主要由Ox/SiN/Ox組成。蝕刻spacer 時要...