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問答題
【簡答題】簡述Spacer的主要功能？
答案：
①使高濃度的源/漏極與柵極間產(chǎn)生一段LDD區(qū)域；
②作為Contact Etch時柵極的保護(hù)層。
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問答題
【簡答題】何謂Spacer? Spacer蝕刻時要注意哪些地方？
答案：
在柵極(Poly)的兩旁用dielectric（介電質(zhì)）形成的側(cè)壁，主要由Ox/SiN/Ox組成。蝕刻spacer 時要...
問答題
【簡答題】何謂Hot carrier effect (熱載流子效應(yīng))?
答案：
在線寛小于0.5um以下時, 因為源/漏極間的高濃度所產(chǎn)生的高電場,導(dǎo)致載流子在移動時被加速產(chǎn)生熱載子效應(yīng), 此熱載子效...
