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名詞解釋

結(jié)深

答案: 如果擴(kuò)散雜質(zhì)與硅襯底原有雜質(zhì)的導(dǎo)電類型不同,在兩種雜質(zhì)濃度的相等處會(huì)形成PN結(jié),此深度為結(jié)深。
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問答題

【簡答題】為什么晶體晶格離子注入工藝后需要高溫退火?使用RTA退火有什么優(yōu)點(diǎn)?

答案: 消除晶格損傷,恢復(fù)載流子壽命以及遷移率,激活一定比列的摻雜原子。
降低了退火溫度或者說減少了退火時(shí)間,減少了退...
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