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單項(xiàng)選擇題

在實(shí)際的控制系統(tǒng)中，除了實(shí)際存在的不可避免的非線性特性外，有時(shí)，為了提高系統(tǒng)的控制質(zhì)量人為地在系統(tǒng)中引進(jìn)（）。

A.調(diào)節(jié)器
B.變送裝置
C.一些非線性環(huán)節(jié)
D.自動(dòng)控制系統(tǒng)

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單項(xiàng)選擇題

半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程傳統(tǒng)的控制手段主要是固定工藝方案的單變量常規(guī)控制，比如（）、壓力等環(huán)境參數(shù)的定值控制。

A.溫度
B.濕度
C.流量
D.差壓

單項(xiàng)選擇題

積分會(huì)消除余差，所以當(dāng)比例控制產(chǎn)生的余差超過(guò)限定值時(shí)，可使用比例積分控制器，在反饋控制器中，約有（）是采用PI控制器的。

A.60%
B.65%
C.75%
D.80%

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