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單項(xiàng)選擇題

半導(dǎo)體生產(chǎn)過程傳統(tǒng)的控制手段主要是固定工藝方案的單變量常規(guī)控制，比如（）、壓力等環(huán)境參數(shù)的定值控制。

A.溫度
B.濕度
C.流量
D.差壓

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單項(xiàng)選擇題

積分會(huì)消除余差，所以當(dāng)比例控制產(chǎn)生的余差超過限定值時(shí)，可使用比例積分控制器，在反饋控制器中，約有（）是采用PI控制器的。

A.60%
B.65%
C.75%
D.80%

單項(xiàng)選擇題

以石油、化工過程為例，接近（）的控制回路均采用以PID控制為基礎(chǔ)的常規(guī)控制。

A.60%
B.70%
C.80%
D.90%

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