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問答題

【簡答題】工藝最后生長在頂層的介質(zhì)層稱為什么？有什么材料構(gòu)成？其主要作用是什么？

答案：氮化硅，稱為鈍化層，其目的是保護產(chǎn)品免受潮氣，劃傷及淀積的影響。

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【簡答題】金屬層間介質(zhì)的作用是什么？通常用什么材料作層間介質(zhì)層？

答案：

作用：支撐材料和金屬間的絕緣層（以及局部互連介質(zhì)層）
通常用氧化硅作為層間介質(zhì)層。

【簡答題】接觸孔和通孔的作用是什么？它們是如何形成的？什么是鎢塞。試說明其主要作用。

答案：接觸孔的作用：在金屬和非金屬導體間提供電學連接；
形成：
1）鈦的淀積
2）退火

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