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問答題
【簡答題】接觸孔和通孔的作用是什么？它們是如何形成的？什么是鎢塞。試說明其主要作用。
答案：
接觸孔的作用：在金屬和非金屬導(dǎo)體間提供電學(xué)連接；
形成：
1）鈦的淀積
2）退火
形成：
1）鈦的淀積
2）退火
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問答題
【簡答題】請(qǐng)說明在形成晶體管的有源區(qū)摻雜過程中需要進(jìn)行哪些保護(hù)？分別用什么材料作為保護(hù)層？
答案：
第一次：有源區(qū)的輕摻雜漏注入（LDD）時(shí)，用光刻膠保護(hù)不需注入的其他區(qū)域；
第二次：在對(duì)有源區(qū)進(jìn)行更大劑量的注...
第二次：在對(duì)有源區(qū)進(jìn)行更大劑量的注...
問答題
【簡答題】列出簡化的雙阱CMOS工藝流程中的主要步驟，并說明該流程的兩個(gè)主要特點(diǎn)。
答案：
步驟：
阱區(qū)離子注入；
定義有源區(qū)刻蝕及在絕緣溝槽中填充氧化物；
淀積及形成多晶硅層圖形；...
阱區(qū)離子注入；
定義有源區(qū)刻蝕及在絕緣溝槽中填充氧化物；
淀積及形成多晶硅層圖形；...
