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判斷題

光刻區(qū)使用黃色熒光燈照明的原因是，光刻膠只對(duì)特定波長(zhǎng)的光線(xiàn)敏感，例如深紫外線(xiàn)和白光，而對(duì)黃光不敏感。

答案：正確

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步進(jìn)光刻機(jī)的三個(gè)基本目標(biāo)是對(duì)準(zhǔn)聚焦、曝光和合格產(chǎn)量。

答案：錯(cuò)誤

最早應(yīng)用在半導(dǎo)體光刻工藝中的光刻膠是正性光刻膠。

答案：錯(cuò)誤

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