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填空題

用于熱工藝的立式爐的主要控制系統(tǒng)分為五部分（）、（）、氣體分配系統(tǒng)、尾氣系統(tǒng)和（）。

答案：工藝腔；硅片傳輸系統(tǒng)；溫控系統(tǒng)

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根據(jù)氧化劑的不同，熱氧化可分為（）、（）和（）。

答案：干氧氧化；濕氧氧化；水汽氧化

熱氧化工藝的基本設(shè)備有三種（）、（）和（）。

答案：臥式爐；立式爐；快速熱處理爐