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填空題

根據(jù)氧化劑的不同,熱氧化可分為()、()和()。

答案: 干氧氧化;濕氧氧化;水汽氧化
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熱氧化工藝的基本設(shè)備有三種()、()和()。

答案: 臥式爐;立式爐;快速熱處理爐
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制備半導(dǎo)體級(jí)硅的過(guò)程:1、();2、();3、()。

答案: 制備工業(yè)硅;生長(zhǎng)硅單晶;提純
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