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填空題

在單晶硅表面制作絨面時,常用的各向異性腐蝕劑有有機腐蝕劑和(),并且被腐蝕的單晶硅表面為100晶面時,可形成金字塔方椎形狀,腐蝕后方椎高度一般為3~6µm。

答案: 堿性腐蝕劑
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