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問答題

【簡答題】例舉并描出旋轉(zhuǎn)涂膠的4個基本步驟。

答案： 1，分滴，當硅片靜止或者旋轉(zhuǎn)得非常緩慢時，光刻膠被分滴在硅片上
2，旋轉(zhuǎn)鋪開，快速加速硅片的旋轉(zhuǎn)到一高的轉(zhuǎn)速使...
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問答題

【簡答題】在硅片制造中光刻膠的兩種目的是什么？
答案：

一，將掩膜版圖案轉(zhuǎn)移到硅片表面頂層的光刻膠中
二，在后續(xù)工藝中，保護下面的材料
問答題

【簡答題】例出光刻的8個步驟，并對每一步做出簡要解釋。
答案： 第一步：氣相成底膜處理，其目的是增強硅片和光刻膠之間的粘附性。
第二步：旋轉(zhuǎn)涂膠，將硅片被固定在載片臺上，一定...
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