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【簡(jiǎn)答題】例出光刻的8個(gè)步驟,并對(duì)每一步做出簡(jiǎn)要解釋。
答案:
第一步:氣相成底膜處理,其目的是增強(qiáng)硅片和光刻膠之間的粘附性。
第二步:旋轉(zhuǎn)涂膠,將硅片被固定在載片臺(tái)上,一定...
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答案:
(1)SiO
2
淀積:用PECVD淀積內(nèi)層氧化硅到希望的厚度。
(2)SiN刻蝕阻擋層淀積...
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