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問答題

【簡答題】例舉并描述金屬用于硅片制造的7種要求。

答案：金屬用于硅片制造的七個要求：
1.導(dǎo)電率：為維持電性能的完整性，必須具有高電導(dǎo)率，能夠傳導(dǎo)高電流密度。

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填充薄膜

答案：

用金屬薄膜填充通孔以便在兩層金屬間形成電連接。

通孔

答案：

穿過各種介質(zhì)從某一金屬層到毗鄰金屬層形成電通路的開口。