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名詞解釋

氧化還原反應(yīng)沉積

答案：一些元素的氫化物有機(jī)烷基化合物常常是氣態(tài)的或者是易于揮發(fā)的液體或固體，便于使用在CVD技術(shù)中。如果同時(shí)通入氧氣，在反應(yīng)器...

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物理氣相沉積

答案：以物理機(jī)制來(lái)進(jìn)行薄膜沉積而不涉及化學(xué)反應(yīng)的沉積技術(shù)，所謂物理機(jī)制是物質(zhì)的相變化現(xiàn)象，如蒸鍍，蒸鍍?cè)从泄虘B(tài)轉(zhuǎn)化為氣態(tài)濺鍍，...

化學(xué)氣相沉積

答案：是通過(guò)化學(xué)反應(yīng)的方式，利用加熱、等離子激勵(lì)或光輻射等各種能源，在反應(yīng)器內(nèi)使氣態(tài)或蒸汽狀態(tài)的化學(xué)物質(zhì)在氣相或氣固界面上經(jīng)化...