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物理氣相沉積
答案:
以物理機制來進行薄膜沉積而不涉及化學反應的沉積技術,所謂物理機制是物質的相變化現(xiàn)象,如蒸鍍,蒸鍍源有固態(tài)轉化為氣態(tài)濺鍍,...
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電位序
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