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問答題
【簡(jiǎn)答題】影響化學(xué)氣相沉積制備材料質(zhì)量有哪幾個(gè)主要因素？
答案：
（1）反應(yīng)混合物。
（2）沉積溫度。
（3）襯底材料。
（4）系統(tǒng)內(nèi)總壓和氣體總流速。
（2）沉積溫度。
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答案：
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答案：
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