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SiO
2
作為擴(kuò)散掩蔽膜需要滿足一定的厚度要求。
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判斷題
SiO
2
中5價(jià)的網(wǎng)絡(luò)形成者可使結(jié)構(gòu)強(qiáng)度增加,而3價(jià)的網(wǎng)絡(luò)形成者可使結(jié)構(gòu)強(qiáng)度減小。
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判斷題
熱氧化生長的SiO
2
都是四面體結(jié)構(gòu),有橋鍵氧、非橋鍵氧,橋鍵氧越多結(jié)構(gòu)越致密,SiO
2
中有離子鍵成份,氧空位表現(xiàn)為帶正電。
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