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填空題

硅氣相外延的硅源有（）、（）、（）、（）等。

答案：四氯化硅（SiCl₄）；三氯硅烷（SiHCl₃）；二氯硅烷（SiH₂Cl₂）；硅烷（SiH₄）

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根據(jù)向襯底輸送原子的方式可以把外延分為：（）、（）、（）。

答案：氣相外延；液相外延；固相外延

CVD過(guò)程中化學(xué)反應(yīng)所需的激活能來(lái)源有（）、（）、（）等。

答案：熱能；等離子體；光能