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填空題

常用的濺射鍍膜氣體是（），射頻濺射鍍膜的射頻頻率是（）。

答案：氬氣（Ar）；13.56MHz

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濺射鍍膜方法有（）、（）、（）、（）等。

答案：直流濺射；射頻濺射；偏壓濺射；磁控濺射（反應(yīng)濺射、離子束濺射）

離子對(duì)物體表面轟擊時(shí)可能發(fā)生的物理過程有（）、（）、（）、（）。

答案：反射；產(chǎn)生二次電子；濺射；注入

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