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填空題

離子對(duì)物體表面轟擊時(shí)可能發(fā)生的物理過程有（）、（）、（）、（）。

答案：反射；產(chǎn)生二次電子；濺射；注入

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自持放電的形式有（）、（）、（）、（）。

答案：輝光放電；弧光放電；電暈放電；火花放電

真空蒸發(fā)設(shè)備由三大部分組成，分別是（）、（）、（）及（）系統(tǒng)。

答案：真空系統(tǒng)；蒸發(fā)系統(tǒng)；基板；加熱

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