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真空蒸發(fā)的蒸發(fā)源有()、()、()、()等。
答案:
電阻加熱源;電子束加熱源;激光加熱源;高頻感應(yīng)加熱蒸發(fā)源
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填空題
離子注入系統(tǒng)結(jié)構(gòu)一般包括()等部分。
答案:
離子源、磁分析器、加速管、聚焦和掃描系統(tǒng)、靶室
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填空題
離子注入在襯底中產(chǎn)生的損傷主要有()等三種。
答案:
點(diǎn)缺陷、非晶區(qū)、非晶層
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