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填空題

離子注入在襯底中產(chǎn)生的損傷主要有（）等三種。

答案：點缺陷、非晶區(qū)、非晶層

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常規(guī)平面工藝擴散工序中的恒定表面源擴散過程中，雜質(zhì)在體內(nèi)滿足（）函數(shù)分布。常規(guī)平面工藝擴散工序中的有限表面源擴散過程中，雜質(zhì)在體內(nèi)滿足（）函數(shù)分布。

答案：余誤差；高斯分布

制備SiO₂的方法有（）、（）、（）、（）、（）等。

答案：濺射法；真空蒸發(fā)法；陽極氧化法；熱氧化法；熱分解淀積法

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