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問答題
【簡答題】SiO2膜網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)特點是什么？氧和雜質(zhì)在SiO2網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)中的作用和用途是什么？對SiO2膜性能有哪些影響？
答案：
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問答題
【簡答題】異質(zhì)外延對襯底和外延層有什么要求？
答案：
對于B/A型的異質(zhì)外延，在襯底A上能否外延生長B，外延層B晶格能否完好，受襯底A與外延層B的兼容性影響。襯底與外延層的兼...
問答題
【簡答題】硅氣相外延工藝采用的襯底不是準(zhǔn)確的晶向，通常偏離（100）或（111）等晶向一個小角度，為什么？
答案：
從硅氣相外延工藝原理可知，硅外延生長的表面外延過程是外延劑在襯底表面被吸附后分解出Si原子，他遷移到達(dá)結(jié)點位置停留，之后...
