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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述離子注入的通道效應(yīng)和減小通道效應(yīng)的方法

答案：通道效應(yīng)：如果一個(gè)電子以正確的角度進(jìn)入通道，它只需要很少的能量就可以行進(jìn)很長(zhǎng)的距離。
方法：
（1）...

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離子注入的兩種阻滯機(jī)制：（）

答案：原子核阻滯和電子阻滯

問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】離子注入工藝和擴(kuò)散工藝相比的優(yōu)點(diǎn)

答案：溫度低，使用PR遮蔽層（擴(kuò)散硬遮蔽層），非等向性摻雜輪廓，可獨(dú)立控制摻雜濃度和結(jié)深，批量及單晶圓工藝（擴(kuò)散為單晶圓工藝）