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填空題
擴散分布的主要測量方法有:()。
答案:
四探針測電阻率、擴展電阻測載流子分布、霍爾效應(yīng)測電阻率、染色法測結(jié)深、二次離子質(zhì)譜測雜質(zhì)分布、盧瑟福背散射測重雜質(zhì)分布
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填空題
擴散的目的是為了實現(xiàn)對半導(dǎo)體摻雜,雜質(zhì)擴散的深度與()有關(guān),服從()。雜質(zhì)擴散通常分為等表面濃度擴散,也(),和固定雜質(zhì)總量擴散,也稱()。預(yù)淀積的分布是()函數(shù),再分布擴散的雜質(zhì)呈()函數(shù)分布。
答案:
雜質(zhì)濃度梯度、擴散溫度、擴散時間;費克定律;預(yù)淀積;再分布擴散;余誤差;高斯
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填空題
半導(dǎo)體的中,()稱為費米能級;對本征半導(dǎo)體,費米能級位于(),表示()。費米能級靠近導(dǎo)帶,表示(),是()型半導(dǎo)體;費米能級靠近價帶,表示(),是()型半導(dǎo)體。
答案:
被電子占有的幾率為1/2的能級;禁帶中央;電子和空穴數(shù)相等;電子數(shù)多于空穴數(shù);N;空穴數(shù)多于電子數(shù);P
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