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填空題

光電式轉(zhuǎn)速傳感器是一種角位移傳感器，由裝在被測軸（）上的（）、（）、光電器件和指示縫隙盤組成。

答案：或與被測軸相連接的輸入軸；帶縫隙圓盤；光源

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光電式角編碼器按編碼方式可分為（）和（）兩種。

答案：絕對式編碼器；增量式編碼器

硅壓阻式壓力傳感器是利用（）的（）制成的器件。

答案：單晶硅；壓阻效應(yīng)