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問答題

【簡答題】什么叫“結尖刺效應”，集成電路工藝中如何避免鋁的結尖刺效應？

答案：硅可以溶解在鋁中。在源/漏區(qū)，鋁金屬會與硅直接接觸，硅會溶入鋁中，而鋁會擴散進入硅內形成鋁尖凸物。鋁的尖凸物可以穿透摻雜...

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【簡答題】90年代以前，哪些因素影響銅用于IC工藝

答案：器件尺寸；器件密度；化學機械研磨工藝；多重金屬連線；
鋁金屬的電導率在金屬中排第四，僅次于銀、銅、金。鋁是這四...

【簡答題】半導體工藝中電介質薄膜的應用

答案：

（1）作為鈍化保護層
（2）ILD0的摻雜物阻擋層
（3）紫外線可以穿透的保護層
（4）作為ILD材料

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