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多項選擇題

互連工藝中AL的制備可選用（）。

A.電鍍
B.CVD
C.MBE
D.PVD

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多項選擇題

金屬化中可選用的金屬材料有（）。

A.銀
B.金
C.鋁
D.銅

單項選擇題

進行溝槽填充常用的金屬材料是（）。

A.銅
B.鋁
C.鎢
D.金

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