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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】請(qǐng)闡述擴(kuò)散的局限性。
答案：
與離子注入工藝相比，擴(kuò)散工藝的局限性在于：
1）擴(kuò)散是各向同性的，其掩膜下方會(huì)有嚴(yán)重的橫向擴(kuò)散效應(yīng)，因而不適于...
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問(wèn)答題
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答案：
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問(wèn)答題
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答案：
根據(jù)熱氧化的生長(zhǎng)機(jī)理，氧化劑（O2或H2O）若要與襯底Si反應(yīng)生成SiO
