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單項(xiàng)選擇題

微型機(jī)電系統(tǒng)（Micro Electro Mechanical Systems，MEMS）是指集微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器、信號(hào)處理、控制電路、接口、通訊和電源等于一體的（）或綜合體。

A.微型機(jī)電器件
B.微光學(xué)器件
C.微電子器件
D.微機(jī)械器件

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