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問答題

【簡答題】簡述熱擴散所需經(jīng)歷的步驟

答案：

•建立濃度差
•雜質(zhì)擴散至合適的結(jié)深
•雜質(zhì)與硅原子成鍵

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答案：擴散是物質(zhì)的一個基本性質(zhì)，原子、分子和離子都會從高濃度向低濃度處進行擴散運動。
擴散運動需滿足兩個基本條件：<...

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答案： 1）襯底清洗
2）生長掩蔽膜
3）對掩蔽膜進行光刻和刻蝕

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