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填空題

高速主軸采用的軸承有：（），（），（），（）。

答案：滾動軸承；氣浮軸承；液體靜壓軸承；磁浮軸承

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微細加工工藝方法主要有：（），光刻加工，體刻蝕加工技術，面刻蝕加工技術，LIGA技術，（）和（）。

答案：超微機械加工；封接技術；分子裝配技術

工業(yè)機器人一般由（），（），（）和（）等幾個部分組成。

答案：執(zhí)行機構；控制系統；驅動系統；位置檢測機構

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