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問答題

【簡答題】什么樣的光刻設(shè)備對應(yīng)的過程是怎樣的？

答案：

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【簡答題】簡述正性光刻和負性光刻的概念？優(yōu)缺點？

答案： •正性光刻是把與掩膜版上相同的圖形復(fù)制到晶圓上。
•負性光刻是把與掩膜版上圖形相反的圖形復(fù)...

【簡答題】光刻過程需要哪八大步驟？每個步驟的作用？

答案：

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