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多項選擇題

影響化學(xué)氣相沉積的工藝參數(shù)包括（）。

A.沉積溫度的確定
B.反應(yīng)混合物的選擇
C.系統(tǒng)內(nèi)總壓和氣體總流速
D.原材料的純度

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相比于立式開口體系，應(yīng)用臥式開口體系制備的薄膜均勻性更好。

答案：錯誤

相比于常壓化學(xué)氣相沉積，低壓化學(xué)氣相沉積成膜速率更快。

答案：正確

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