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多項選擇題

精密研磨、拋光時主要工藝因素有工藝設(shè)備、研具、磨粒、加工液、（）。

A.加工參數(shù)
B.加工環(huán)境
C.加工溫度
D.加工時間
E.加工質(zhì)量

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多項選擇題

實現(xiàn)超精密加工的技術(shù)支撐條件主要包括：（）、高質(zhì)量的工件材料、超穩(wěn)定的加工環(huán)境條件等。

A.超精密加工機(jī)理與工藝方法
B.超精密加工機(jī)床設(shè)備
C.超精密加工工具
D.測量補償
E.誤差補償

單項選擇題

納米技術(shù)是指納米級（）nm的材料、設(shè)計、制造、測量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。

A.0.01-10
B.0.1-100
C.1-1000
D.10-10000

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