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判斷題

激光掃描時光束直徑d所產(chǎn)生的半影影響無法消除。

答案：錯誤

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采用激光偏振檢測系統(tǒng)可確定硅片表面疵病的性質(zhì)，即區(qū)分疵病是劃痕、裂痕、麻點(diǎn)、灰塵、油污膜層或其他缺陷。

答案：正確

單項選擇題

關(guān)于壓電掃描器缺點(diǎn)敘述錯誤的是（）

A.電壓相對位置、位移無滯后
B.晶體膨脹期間不可預(yù)測的力矢量
C.居里溫度引起的溫度限制，低溫下壓電效應(yīng)的降低
D.柔性鉸鏈的設(shè)計對環(huán)境噪聲的放大

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