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多項選擇題

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

A.12.5Mhz
B.30Mhz
C.13.56Mhz
D.27.12Mhz

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檢漏儀里標準漏孔的作用是（）。

A.靈敏度校正
B.檢漏儀性能確認
C.壓力確認
D.漏率檢測

多項選擇題

RF 電源適用的設備是（）。

A.CVD
B.EtChing
C.Ashing
D.Cleaning

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