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問答題

【簡(jiǎn)答題】硅化物（salicide）的形成步驟主要可分為哪些？

答案： ①Co（或Ti）+TiN的沉積；
②第一次RTA（快速熱處理）來形成Salicide。
③將未反應(yīng)的...

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【簡(jiǎn)答題】何謂硅化物( salicide)?

答案： Si與Ti或Co形成TiSix或CoSix, 一般來說是用來降低接觸電阻值（Rs, Rc）。

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)單說明SAB工藝的流層中要注意哪些？

答案： ①SAB 光刻后（photo），刻蝕后（etch）的圖案（特別是小塊區(qū)域）。要確定有完整的包覆（block）住...