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【簡答題】簡述離子束加工技術(shù)的原理與應(yīng)用
答案:
在真空條件下把氬氪氙等惰性氣體通過離子源產(chǎn)生離子束經(jīng)過加速,集束和聚焦后,投射到工件表面的加工部位進(jìn)行加工。
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