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填空題

淺結制備的常用方法是：（）、（）加（）。而（）型淺結比（）型淺結更難制備。P型淺結常用（）、（）、（）來獲得。

答案：降低注入離子能量；分子離子注入；快速熱退火；P；n；BF₂⁺離子替代B⁺注入；降低B⁺注入能量；硅注入表面預非晶化

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為了降低注入離子對襯底由于熱沉積產(chǎn)生的溫升，在高劑量、大束流離子注入時，可以采用（）掃描方式，在低劑量、小束流時一般用（）方式注入。

答案：混合；全電掃描

離子注入機的對Si襯底作P型摻雜的源氣常用（），N型摻雜的源氣常用（）和（）。對GaAs做N型摻雜的源氣常用（）

答案： BF₃；PH₅；AsH₅；SiH₄

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